应用：
高聚物材料表面改性
医疗器材表面灭菌消毒
表面清洗，如PCB、FPC、电子元件等
半导体表面去胶
产品特性：
本产品采用特殊设计，结构简单，成本低廉，可放置于桌面使用，适合于教学科研；
整机尺寸：宽x高x深=430（mm）x380（mm）x850（mm），整机重量60KG，表面喷塑。
真空反应室内腔尺寸为ф50（内径）×80（内高）石英管，用KF50真空卡箍密封，放样取样方便快捷。
真空室外侧有镂空的保护罩，即可以观察石英罩内的情况，也可以有效的保护操作者以免烫伤。
2路工作气体，一路工作气体由L型石英管进入系统，被激发成等离子体状态进入反应室。另一路气体由内径6mm不锈钢卫生管通过均流环把工作气体引入反应室内。这样操作起来就可以更加的方便和快捷。工作气体可用氮气、氧气、氦气、大气等常用气体。
